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是用来对各种气体的质量流量进行进行精密测量与控制的一种仪器，他大量用于电子工艺设备中，如扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等行业。
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